义是真的突破了，不是大乌龙，毕竟国内等高端光学镜头等的太久了，等EUV光刻机太久了，等高端芯片太久了。”王修齐看着牛光辉的背影，嘀咕着。
……
燕京，清大食堂。
司文博正吃着午饭，心中考虑着如何降低同步辐射EUV光源的能量消耗。
同步辐射作为EUV光刻机光源的一种实现方案，他把路子走通了，可缺点太明显了。
太耗能了。
如果国内EUV光刻机光源采用他们团队搞出来的同步辐射EUV光源，和国外相比，同样的芯片，能耗是对方的二十倍，这样的结果是他不能接受的。
他想了很多方案，唯一靠谱的是能量的回收，可加入能量回收系统后，整个EUV光源系统将会变得极其复杂，最为关键的是，目前的能量回收系统只能回收百分之十的能量，这无法达到他的心理预期。
正想的时候，他手机响了，拿出来一看，是校长办公室给他发的邮件。
内容是让他参加上岭大学光学镜头研究中心的技术报告会。
看了光学镜头研究中心发的邀请函后，他不淡定了。
“这……这不会是乌龙吧！包正义他们第六次测试刚失败，这才几天，就突破了离子束抛光技术，这加工精度，比欧罗巴的蔡斯都强……不行，现在就买机票，我倒要看看是不是真的突破了。”司文博嘀咕着。
他随便吃了几口，把餐盘送到了回收区，就急匆匆的离开了食堂。
……
申城大江区申城微电子无尘工厂。
申城微电子总工程师潘飞鹏穿着无尘服，带着口罩和护目镜站在一台设备的显示屏前。
“不错！不错！这双工件台各种参数都可以了，上午就到这吧！大家准备去吃饭！”潘飞鹏看着显示屏上的参数，对着周围工程师们喊。
“吃饭了！”工程师们欢呼后陆陆续续的离开了。
现场就剩下潘飞鹏和他的助理柳天昊。
“EUV光刻机啊！三大难题，双工件台的问题解决了，EUV光源的问题也解决了，就剩下光学镜头了。”潘飞鹏有些失落，“我最看好包正义的研究团队，可他们的第六次测试也失败了，也不知道国内何时才能造出符合要求的光学镜头。”
“总工！清大搞出来的同步辐射EUV光源太耗能了，就算我们有了光学镜头，造出了EUV光刻机，在国际上也没有竞争力。”柳天昊直言。
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