在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。
今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！
“所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，ArFi会有的，EUV也会有的！”
陆飞环顾四周，激励士气。
“陆总！”
尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。
而且满世界找帮手，比如徕卡。
“老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？”
陆飞侧目望向孙红军。
“已经拟出个初步方案，就等您来定。”
孙红军应了一声。
“嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！”
陆飞双手叉腰，“65nm有了，还怕没有ArFi？没有EUV？接下来我们就向32nm、28nm，甚至28nm以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！”
“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程，毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。”
尹志尧脸上露出一丝愧疚。
“梁博士，你的意思呢？”
陆飞把目光投向梁孟松。
“陆总放心，难度肯定是有的，但我可以保证，32nm，今年下半年就能风险性试产。”
梁孟松话锋一转，说出难题。
芯片代工制造的过程非常复杂，需要多方面的技术和设备支持，就像14nm是个关键的分界线，28nm也是个关键的分界线。
但设备还不是他最担心的，他最担心的是中芯被台积电打倒之后，下一个就轮到逻辑。
“这种情况我不是没有考虑。”
陆飞摆了摆手：“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电，就是让章忠谋顾虑，既想对付我们，又怕失去我们的订单。”
“可按我对章忠谋的了解，肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道，“另外还有三星……”
陆飞笑道：“梁博士，三星现在的技术负责人还是蒋尚义，哪怕拿到了EUV光刻机，你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗？”
…。。