一个能用，怎么现在居然莫名其妙的恢复了？
故障排除靠重启？
这不可能！
拿到这台机器后，子模块复位做了这么多次，没有一次能自检通过的。
怎么恢复的？
你特么玩我呢吧？
张博士深吸一口气：“再看一下光源系统。”
两名研究员忙不迭的光源控制，开始执行光源系统的复位程序。
远处的激光发生器先是发出一声低沉的嗡鸣，随后切换到高频的脉冲声，像有人在密集地敲打金属。
紧接着，激光腔内发出气体注入的嗤嗤声，混合的特种气体通过气路调节阀依次导入，屏幕上的传感器读书开始快速的跳动起来。
光束被导向光功率传感器与稳定度监测器，HMI上的曲线从最初的波动逐渐收敛成一条平滑的直线。
十分钟后，屏幕正中央弹出一行绿色的大字：
Laser Source: PASS。
PASS！？
张博士还以为自己看错了，不可思议的抬起手揉眼睛，却发现自己戴着全封闭的面罩，根本揉不到。
这是怎么回事！？
等等，刚才自己说了那么半天故障问题，还说什么需要换件之类的，不会让老板觉得自己是想坑他钱吧？
张博士额角的冷汗一下子就冒出来了。
“不错，不错。”方豫鼓了鼓掌，语带笑意，“刚刚可能是光源轻微老化和地面沉降导致工作台配平的问题，能一次通过自检，就算新机器也不容易做到，张博士果然名不虚传。”
“不是……这和我没关系，我是说……”张博士在面罩里龇牙咧嘴的不知道该说什么好。
“唉！要是什么时候国产光刻机能问世就好了，省得在尼德兰和迈国人面前受这个窝囊气。”
千言万语，最终汇成了一声叹息。
听到张博士的感叹，方豫意味深长的拍了拍他肩膀：“面包会有的，DUV会有的，EUV也会有的。”
张博士胸膛起伏不定，好一阵才平息，苦笑一声：“太难了，光刻机只是其中一环而已，芯片产业上游六大原材料行业、前后道十二项关键设备，核心技术几乎全在别人手中。”
方豫微微一笑。
六大原材料和十二项关键设备？
你是说信越化学和SUMCO的圆晶、JSR的光刻胶、关东化学的试剂、高卢Air Li
…。。