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第1607章 多重曝光

作品:学霸的军工科研系统作者:十月廿二
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三天后,未来信息产业大会圆满落幕。

常浩南婉拒了后续的交流活动,在周学和两名便装警卫的陪同下,乘坐一辆低调的中巴车,直奔华芯国际设置在津门海河新区的生产与研发基地。

按照常浩南本人的要求,基地没有设置盛大的欢迎仪式。

只有负责人黄炜和提前一天回津的技术总监吴明翰,以及几名核心技术人员安静地等候。

看到常浩南下车,为首两人立刻迎上前。

简短的寒暄后,常浩南一行人便在专人引导下,前往更衣区。

晶圆制造对洁净度的要求比手术室严格百倍,因此在进入核心区域之前,必须换上全套特制的无尘服,并经过严格的风淋除尘程序。

踏出气动闸门之后,空气里就只剩下特有的洁净室气味,以及微弱的机器嗡鸣。

透过观察窗,可以看到一批完成抛光和清洗、表面光洁如镜的硅片,正被机械臂精准地送入沉积区,进行着薄膜生长。

“常院士,这是我们最基础的环节之一,硅片的制备和初始加工。”黄炜的声音透过通讯系统传来,“经过表面处理、清洗、沉积必要的镀膜作业之后,晶圆才会进入后面的光罩制作……也就是光刻环节。”

黄炜一边介绍流程,一边注视着自动化流程的完成。

正巧,一个批次的晶圆刚刚完成镀膜,被机械臂取出。

他示意操作员取出一片样品,隔着专用视窗展示给常浩南。

晶圆表面反射着顶灯的冷光,呈现出均匀的光泽。

常浩南俯身盯着晶圆的尺寸和边缘,伸手隔着玻璃比划了一下,问道:“黄总,这一批是200mm(8英寸)?”

“是的,常院士。”黄炜肯定道,“这是我们目前量产的主力尺寸。”

旁边的吴明翰适时补充:“12英寸(300mm)的产线还在备产阶段,主要是……现在公司的资金和顶尖工程资源,绝大部分都集中投入到光刻环节的突破上,尤其是利用现有深紫外(DUV)设备攻坚更先进制程的研发。”

“不过从技术储备的角度,我们并不落后太多,一旦资金或关键设备到位,提速会很快。”

常浩南微微颔首,没有多言,示意继续前行。

“后面就是光罩制作区了。”黄炜一边引路一边介绍,“把IC设计图用电子束刻在石英片上,就能制成光罩,这个东西类似照相底片,刚才生产的晶圆就是相片纸,基本原理和洗照

…。。
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